Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (2008)
Unidade: EPAssunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
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ABNT
SILVA, Felipe José Ferreira Sabino da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/. Acesso em: 17 maio 2024.APA
Silva, F. J. F. S. da. (2008). Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/NLM
Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 17 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/Vancouver
Silva FJFS da. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 maio 17 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
